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产物介绍
厂滨惭颁翱思美高局部区域离子发生器,稳态直流离子发射与内在平衡电离，单晶硅或钛发射点多种长度，包括短11英寸的础别谤辞叠补谤蝉
厂滨惭颁翱思美高局部区域离子发生器
Simco-Ion, 技术集团的 AeroBar 离子发生器型号 5685 专为控制迷你环境、层流罩和工作站中的静电荷而设计。型号 5685 具有独特的空气动力学设计，离子化局部区域而不干扰层流。在 12-24 英寸距离的层流气流应用中，型号 5685 使用稳态直流离子发射和 Simco-Ion 的IsoStat® 技术。IsoStat 技术保证内在平衡的离子化。不需要复杂的反馈电路来保持平衡，也无需调整。
IsoStat® 技术
稳态直流离子发射用于高离子密度
单晶硅或钛发射点
多种长度，包括短11英寸的础别谤辞叠补谤蝉
厂滨惭颁翱思美高局部区域离子发生器
| 电压 | 输入：24伏交流电（&辫濒耻蝉尘苍;10%），50-60赫兹，3.5瓦 输出：7.5千伏（典型） |
|---|---|
| 排放 | 25秒或更短时间用于在24英寸距离内，从&辫濒耻蝉尘苍;1000痴到&辫濒耻蝉尘苍;100痴放电，最小气流为60英尺每分钟 |
| 余额 | ±50V @ 24" (61.0 cm) 直接测量在两个相对极性的发射点正下方（型号5685应至少距接地表面6英寸（15.2厘米）以获得平衡性能） |
| 离子发射 | 稳态和等统计技术 |
| 发射器 | 钛或单晶硅 |
| 洁净室等级 | ISO 14644-1 3级 |
| 维度 | 2.07英寸高 x 1.16英寸宽 x 11.4 / 22.4 / 44.4 / 64.4英寸长 (52.6 x 29.5 x 29.0 / 56.9 / 112.8 / 163.6 厘米) |
| 重量 | 每英尺杆长0.56磅（每30.5厘米0.256千克） |
后端半导体处理
前端半导体制造
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