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产物介绍
厂滨惭颁翱思美高超净环境MP离子发生器，具有广泛可调性的调制脉冲技术 & ISO 14644-12 离子化，出色的横向均匀性
厂滨惭颁翱思美高超净环境MP离子发生器
Simco-Ion, Technology Group的 Model 5635M AeroBar MP离子化棒专为消除半导体和其他超净制造过程中的静电荷而设计，在这些过程中需要快速的放电时间、低摆动电压和精确的平衡，但不允许暴露的金属表面。AeroBar使用MP技术，将高频正弦波与调制脉冲（MP）结合起来，以实现高离子输出和传输。这项突破性技术使AeroBar能够在离晶圆150毫米以内安装。MP技术结合了超净硅发射点和精确调整，提供了ISO 14644-12离子化（0.01 µm颗粒或纳米颗粒）和ISO 14644 Class 1（0.1 µm颗粒）的清洁度，对于更小的技术节点至关重要。
ISO 14644-12 (0.01 µm粒子) 离子化和
ISO 14644 1级 (0.1 µm粒子) 清洁度
调制脉冲技术
无金属设计 “M"
出色的横向均匀性
低场电压
气辅助能力
可选软件，具有易于使用的界面和广泛的可调性
报警输出信号
厂滨惭颁翱思美高超净环境MP离子发生器
| 输入电压 | 输入：24 VDC ±10% 电源输入 RJ-45；0.7A（最大） 输出：13.5 kV 峰峰值（最大），可调 |
|---|---|
| 排放 | 在无空气辅助的情况下，15秒内&辫濒耻蝉尘苍;1000-100痴（典型值），在发射器中心点下方24英寸处，痴辫-辫摆幅为80 |
| 余额 | &濒迟;在受控环境中于18英寸距离测量为&辫濒耻蝉尘苍;35痴 |
| 离子发射 | 调制脉冲 (MP) 技术 |
| 发射器 | ISO 14644-1 1类单晶硅 |
| 洁净室等级 | ISO 14644-1 (0.1 微米颗粒) 和扩展 ISO 1 级清洁度 (10 纳米颗粒或纳米颗粒)，使用 45-50% 输出电压设置和带有单晶硅发射器的 OpenJet 喷嘴 |
| 维度 | 3.1"H x 1.3"W x 13.8 / 17.7 / 23.6 / 33.5 / 39.3 / 45.3 / 51.2 / 57.1 / 63.0 / 69.0 / 74.8 / 80.7 / 86.6 / 92.5"L (7.8 x 3.4 x 35 / 45 / 60 / 85 / 100 / 115 / 130 / 145 / 160 / 175 / 190 / 205 / 220 / 235 cm) |
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