




产物介绍
厂滨惭颁翱思美高串行气体离子发生器超净环境,为任何超净工艺提供清洁电离Simco-Ion, 技术集团的 In-line Ultra-clean Nitrogen Ionizer Model 4214 是专门设计用于对超净半导体或其他高纯度过程中的氮气流进行离子化的。
厂滨惭颁翱思美高串行气体离子发生器超净环境
Simco-Ion, 技术集团的 In-line Ultra-clean Nitrogen Ionizer Model 4214 是专门设计用于对超净半导体或其他高纯度过程中的氮气流进行离子化的。与其他依赖氮气流中的痕量气体来产生离子化的氮气离子化器不同,这款产物使用一个小巧但高效的电源来离子化氮分子。
扩展ISO 1级洁净度
警报指示离子输出低(需要维护)、高压电源故障和气体流量低
待机模式
自平衡电离
低气体流量自动关闭
紧凑尺寸
+24 VDC 输入电源
厂滨惭颁翱思美高串行气体离子发生器超净环境
| 输入电压 | +24 VDC,±5% @ 0.25 A,6W(典型) |
|---|---|
| 排放 | 无歧管:±1000-100V,典型值小于10秒,测量点为6英寸(15.2厘米)至CPM,氮气流量为1.4 cfm @ 5.3 psi(40 lpm @ 36.5 kPa) 带歧管:±1000-100V,典型值小于100秒,测量点为19.6英寸(49.8厘米)带有定制歧管 |
| 余额 | &辫濒耻蝉尘苍;25痴或更低范围,无输出歧管 |
| 离子发射 | 高频交流技术 |
| 洁净室等级 | ISO 14644-1 Class 1 (0.1 微米颗粒) & 扩展ISO Class 1 (0.01 微米颗粒) |
| 维度 | 6.01英寸长 x 2.86英寸宽 x 1.26英寸高 (15.2 x 7.26 x 3.20 厘米) 不带歧管 |
| 重量 | 1.4 磅(0.64 公斤)无歧管 |







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