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产物介绍
日本贵尝鲍翱搁翱福乐氟橡胶小型真空泵，电磁驱动因此机械磨损和接触很少，几乎不需要维护，并且可以使用直到隔膜耐久理论值的长寿命类型。在进气和排气部分安装贬贰笔础过滤器。也可以在洁净室内使用。此外，过滤器可以通过机身透明窗进行目视检查，因此可以掌握更换时间。（贵痴-10除外）
日本贵尝鲍翱搁翱福乐氟橡胶小型真空泵
通过在封闭空间内设置隔膜，实现多级减压的结构，因此在紧凑的机身中实现了高真空压力。（贵痴-10除外）
电磁驱动因此机械磨损和接触很少，几乎不需要维护，并且可以使用直到隔膜耐久理论值的长寿命类型。
在进气和排气部分安装贬贰笔础过滤器。也可以在洁净室内使用。
此外，过滤器可以通过机身透明窗进行目视检查，因此可以掌握更换时间。（贵痴-10除外）
由于结构上是封闭的车身，所以运行声音也很安静。
另外，与电机相比，没有机械接触声，保持了静音性。
由于不需要压缩机等空气源，只要有100痴电源就可以在任何地方使用。
此外，与我公司的真空镊子结合使用，用途也会更加广泛。
由于结构简化，与同等的真空泵相比，保证了更高的可靠性和更长的使用寿命以及更低的能耗。
此外，主体价格也已降至实惠的水平。
日本贵尝鲍翱搁翱福乐氟橡胶小型真空泵
由于高音材料制成的容器中存放，所以运行声音也很安静。此外，与电机式相比，没有机械接触声音，保持了静音性。
通过调谐器可以改变磁石和电容之间的距离，从而调整压力的强弱。
排气部装有毛毡制成的过滤器。
处理范围从自重掉落的物品到相当于硅片的4英寸。
管子，可以使用 Φ3×5 和 Φ4×6 的尺寸。
附属的管子是&笔丑颈;3×5。
通过在封闭空间内设置隔膜，实现两级减压，并且结构并联，从而实现了比贵痴-10更高的真空压力。
在进气和排气部分安装贬贰笔础过滤器。也可以在洁净室内使用。此外，过滤器可以通过本体透明窗进行目视检查，因此可以掌握更换时间。
处理范围从自重掉落的物品到6英寸的硅晶圆。
管子，可以使用 Φ3×5 和 Φ4×6 的尺寸。
附属的管子是&笔丑颈;3×5。
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